Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Оптимизация параметров процесса электронной литографии для получения твёрдых масок металлов |
| Authors: | Кондратьев И. С. Паранин В. Д. |
| Keywords: | жидкостное травление кремниевая подложка металлическая пленка напыление твердые маски металлов технологические процессы шаблон электронная литография |
| Issue Date: | 2020 |
| Citation: | Кондратьев, И. С. Оптимизация параметров процесса электронной литографии для получения твёрдых масок металлов : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / И. С. Кондратьев ; рук. работы В. Д. Паранин ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский ун-т), Ин-т информатики. - Самара, 2020. - on-line |
| Abstract: | В выпускной квалификационной работе представлены результаты отимизизации технологического процесса изготовления бинарного маскирующего покрытия на основе тонких пленок металлов. В процессе работы были решены требуемые, для выполнения технического задания, задачи. В результате работы были получены параметры электронной литографии для экспонирования шаблона фотолитографии оптического и УФ диапозонов. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55604 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Кондратьев_Илья_Сергеевич_Оптимизация_параметров_процесса_электронной.pdf | 1.51 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.