Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Электрофизические параметры структур карбид кремния на поликоре на сверхвысоких частотах |
| Authors: | Танеев А. В. Щербак А. В. |
| Keywords: | карбид кремния магнетронное распыление пленочные структуры полупроводники радиоэлектрический эффект рентгенофазовый анализ сверхвысокие частоты СВЧ волны электрофизические параметры |
| Issue Date: | 2021 |
| Citation: | Танеев, А. В. Электрофизические параметры структур карбид кремния на поликоре на сверхвысоких частотах : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 "Физика" (уровень бакалавриата). - Текст : электронный / А. В. Танеев ; рук. работы А. В. Щербак ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак-т, Каф. физики тверд. - Самара, 2021. - 1 файл ( 1,64 Мб) |
| Abstract: | Выпускная работа включает в себя 50 страниц, 3 главы, введение, заключение, 29 рисунков, 47 литературных источников. Объектом исследования являются структуры карбид кремния на кремнии и карбид кремния на поликоре, получаемых ВЧ магнетронного распыления. Предметом исследования являются электрофизические параметры исследуемых структур. Цель данной работы: экспериментально определить удельное сопротивление и подвижность носителей заряда тонких пленок карбида кремния на поликоре в области сверхвысоких частот (10 ГГц). В первой главе рассмотрены свойства и некоторые методы получения тонкопленочных структур карбида кремния. Вторая глава посвящена методам исследования электрофизических параметров полупроводниковых материалов на сверхвысоких частотах. В третьей главе представлены результаты исследования структур карбид кремния на поликоре. Результаты данной работы могут быть использованы в области разработки полупроводниковых приборов экстремальной электроники и аэрокосмического приборостроения, предназначенных для р |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55232 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Танеев_Антон_Витальевич_Электрофизические_параметры_структур_карбид.pdf | 1.68 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.