1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorТанеев А. В.
dc.contributor.authorЩербак А. В.
dc.coverage.spatialкарбид кремния
dc.coverage.spatialмагнетронное распыление
dc.coverage.spatialпленочные структуры
dc.coverage.spatialполупроводники
dc.coverage.spatialрадиоэлектрический эффект
dc.coverage.spatialрентгенофазовый анализ
dc.coverage.spatialсверхвысокие частоты
dc.coverage.spatialСВЧ волны
dc.coverage.spatialэлектрофизические параметры
dc.creatorТанеев А. В.
dc.date2021
dc.date.accessioned2025-11-27T12:26:57Z-
dc.date.available2025-11-27T12:26:57Z-
dc.date.issued2021
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210924142100
dc.identifier.citationТанеев, А. В. Электрофизические параметры структур карбид кремния на поликоре на сверхвысоких частотах : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 "Физика" (уровень бакалавриата). - Текст : электронный / А. В. Танеев ; рук. работы А. В. Щербак ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак-т, Каф. физики тверд. - Самара, 2021. - 1 файл ( 1,64 Мб)
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55232-
dc.description.abstractВыпускная работа включает в себя 50 страниц, 3 главы, введение, заключение, 29 рисунков, 47 литературных источников. Объектом исследования являются структуры карбид кремния на кремнии и карбид кремния на поликоре, получаемых ВЧ магнетронного распыления. Предметом исследования являются электрофизические параметры исследуемых структур. Цель данной работы: экспериментально определить удельное сопротивление и подвижность носителей заряда тонких пленок карбида кремния на поликоре в области сверхвысоких частот (10 ГГц). В первой главе рассмотрены свойства и некоторые методы получения тонкопленочных структур карбида кремния. Вторая глава посвящена методам исследования электрофизических параметров полупроводниковых материалов на сверхвысоких частотах. В третьей главе представлены результаты исследования структур карбид кремния на поликоре. Результаты данной работы могут быть использованы в области разработки полупроводниковых приборов экстремальной электроники и аэрокосмического приборостроения, предназначенных для р
dc.subjectСВЧ волны
dc.subjectсверхвысокие частоты
dc.subjectрентгенофазовый анализ
dc.subjectрадиоэлектрический эффект
dc.subjectпленочные структуры
dc.subjectмагнетронное распыление
dc.subjectкарбид кремния
dc.subjectполупроводники
dc.subjectэлектрофизические параметры
dc.subject.rugasnti47.33.29
dc.subject.udc621.382
dc.titleЭлектрофизические параметры структур карбид кремния на поликоре на сверхвысоких частотах
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.authorЕстественнонаучный институт
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Elektrofizicheskie-parametry-struktur-karbid-kremniya-na-polikore-na-sverhvysokih-chastotah-94448
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Танеев_Антон_Витальевич_Электрофизические_параметры_структур_карбид.pdf1.68 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.