Samara University Repository
Welcome to the Samara University repository!
This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.
The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.
Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.
Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).
Use the archive for study, research, and professional development!
| Title: | Моделирование диффузионного перераспределения ионно-имплантированных примесей |
| Authors: | Артемьев А. Ю. Козлова И. Н. |
| Keywords: | диффузионное перераспределение ионная имплантация ионно-имплантированные примеси концентрационный профиль пробег иона распределение примесей распределения Гаусса твердые мишени |
| Issue Date: | 2021 |
| Citation: | Артемьев, А. Ю. Моделирование диффузионного перераспределения ионно-имплантированных примесей : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. Ю. Артемьев ; рук. работы И. Н. Козлова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак-т. - Самара, 2021. - on-line |
| Abstract: | Объектом исследования является кремниевая подложка дырочного типа проводимости марки КДБ 2 с удельным сопротивлением 2 Ом*см Цель работы – разработка физико-математической модели процесса ионной имплантации для рассчёта концентрационных профилей и глубин залегания p-n переходов. В процессе работы использована теория Линдхарда, Шарфа и Шиотта. В результате работы определено, что большинство концентрационных профилей в аморфных и кристаллических мишенях имеют ассиметричный график. Эффективность работы заключается в определении значений нормального пробега иона и среднеквадратичного отклонения, на основании которых происходит построение графиков распределения примеси. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55212 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Артемьев_Артем_Юрьевич_Моделирование_диффузионного_перераспределения_ионно.pdf | 1.22 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.