1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАртемьев А. Ю.
dc.contributor.authorКозлова И. Н.
dc.coverage.spatialдиффузионное перераспределение
dc.coverage.spatialионная имплантация
dc.coverage.spatialионно-имплантированные примеси
dc.coverage.spatialконцентрационный профиль
dc.coverage.spatialпробег иона
dc.coverage.spatialраспределение примесей
dc.coverage.spatialраспределения Гаусса
dc.coverage.spatialтвердые мишени
dc.creatorАртемьев А. Ю.
dc.date2021
dc.date.accessioned2025-11-27T12:26:52Z-
dc.date.available2025-11-27T12:26:52Z-
dc.date.issued2021
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210914094807
dc.identifier.citationАртемьев, А. Ю. Моделирование диффузионного перераспределения ионно-имплантированных примесей : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. Ю. Артемьев ; рук. работы И. Н. Козлова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак-т. - Самара, 2021. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55212-
dc.description.abstractОбъектом исследования является кремниевая подложка дырочного типа проводимости марки КДБ 2 с удельным сопротивлением 2 Ом*см Цель работы – разработка физико-математической модели процесса ионной имплантации для рассчёта концентрационных профилей и глубин залегания p-n переходов. В процессе работы использована теория Линдхарда, Шарфа и Шиотта. В результате работы определено, что большинство концентрационных профилей в аморфных и кристаллических мишенях имеют ассиметричный график. Эффективность работы заключается в определении значений нормального пробега иона и среднеквадратичного отклонения, на основании которых происходит построение графиков распределения примеси.
dc.subjectдиффузионное перераспределение
dc.subjectионная имплантация
dc.subjectионно-имплантированные примеси
dc.subjectконцентрационный профиль
dc.subjectпробег иона
dc.subjectраспределение примесей
dc.subjectраспределения Гаусса
dc.subjectтвердые мишени
dc.subject.rugasnti67.09.05
dc.subject.udc620.22
dc.titleМоделирование диффузионного перераспределения ионно-имплантированных примесей
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorматематики и электроники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Modelirovanie-diffuzionnogo-pereraspredeleniya-ionnoimplantirovannyh-primesei-94440
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Артемьев_Артем_Юрьевич_Моделирование_диффузионного_перераспределения_ионно.pdf1.22 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.