Title: Разработка способа диагностирования электродиффузионных отказов тонкопленочной металлизации ИМС методом термографии
Authors: Чегадаев Е. Е.
Архипов А. В.
Шишкина Д. А.
Keywords: дефектоструктуры
метод термографии
методы контроля
электродиффузия
эпитаксиальные металлические пленки
Issue Date: 2021
Citation: Чегадаев, Е. Е. Разработка способа диагностирования электродиффузионных отказов тонкопленочной металлизации ИМС методом термографии : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Е. Е. Чегадаев ; рук. работы А. В. Архипов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики,. - Самара, 2021. - on-line
Abstract: Объектом исследования являются сильноточные проводникитонкопленочной металлизации ИМС.Цель работы изучить процесс образования дефектов тонкопленочныхпроводников сильноточной металлизации микроэлектронных приборов иразработать метод по диагностированию, основанный на термохромизмежидких кристаллов.В результате выполнения работы разработан новый методдиагностирования электродиффузионных отказов тонкопленочнойметаллизации ИМС.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55177
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.