| Title: | Разработка способа диагностирования электродиффузионных отказов тонкопленочной металлизации ИМС методом термографии |
| Authors: | Чегадаев Е. Е. Архипов А. В. Шишкина Д. А. |
| Keywords: | дефектоструктуры метод термографии методы контроля электродиффузия эпитаксиальные металлические пленки |
| Issue Date: | 2021 |
| Citation: | Чегадаев, Е. Е. Разработка способа диагностирования электродиффузионных отказов тонкопленочной металлизации ИМС методом термографии : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Е. Е. Чегадаев ; рук. работы А. В. Архипов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики,. - Самара, 2021. - on-line |
| Abstract: | Объектом исследования являются сильноточные проводникитонкопленочной металлизации ИМС.Цель работы изучить процесс образования дефектов тонкопленочныхпроводников сильноточной металлизации микроэлектронных приборов иразработать метод по диагностированию, основанный на термохромизмежидких кристаллов.В результате выполнения работы разработан новый методдиагностирования электродиффузионных отказов тонкопленочнойметаллизации ИМС. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55177 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Чегадаев_Егор_Евгеньевич_Разработка_способа_диагностического_контроля.pdf | 960.38 kB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.