Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЧегадаев Е. Е.
dc.contributor.authorАрхипов А. В.
dc.contributor.authorШишкина Д. А.
dc.coverage.spatialдефектоструктуры
dc.coverage.spatialметод термографии
dc.coverage.spatialметоды контроля
dc.coverage.spatialэлектродиффузия
dc.coverage.spatialэпитаксиальные металлические пленки
dc.creatorЧегадаев Е. Е.
dc.date2021
dc.date.accessioned2025-11-27T12:26:48Z-
dc.date.available2025-11-27T12:26:48Z-
dc.date.issued2021
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210914150624
dc.identifier.citationЧегадаев, Е. Е. Разработка способа диагностирования электродиффузионных отказов тонкопленочной металлизации ИМС методом термографии : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Е. Е. Чегадаев ; рук. работы А. В. Архипов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики,. - Самара, 2021. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55177-
dc.description.abstractОбъектом исследования являются сильноточные проводникитонкопленочной металлизации ИМС.Цель работы изучить процесс образования дефектов тонкопленочныхпроводников сильноточной металлизации микроэлектронных приборов иразработать метод по диагностированию, основанный на термохромизмежидких кристаллов.В результате выполнения работы разработан новый методдиагностирования электродиффузионных отказов тонкопленочнойметаллизации ИМС.
dc.subjectдефектоструктуры
dc.subjectметод термографии
dc.subjectметоды контроля
dc.subjectэлектродиффузия
dc.subjectэпитаксиальные металлические пленки
dc.subject.rugasnti47.33.31
dc.subject.udc621.382.049.772
dc.titleРазработка способа диагностирования электродиффузионных отказов тонкопленочной металлизации ИМС методом термографии
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorматематики и электроники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Razrabotka-sposoba-diagnostirovaniya-elektrodiffuzionnyh-otkazov-tonkoplenochnoi-metallizacii-IMS-metodom-termografii-94355
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.