1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЧегадаев Е. Е.
dc.contributor.authorАрхипов А. В.
dc.contributor.authorШишкина Д. А.
dc.coverage.spatialдефектоструктуры
dc.coverage.spatialметод термографии
dc.coverage.spatialметоды контроля
dc.coverage.spatialэлектродиффузия
dc.coverage.spatialэпитаксиальные металлические пленки
dc.creatorЧегадаев Е. Е.
dc.date2021
dc.date.accessioned2025-11-27T12:26:48Z-
dc.date.available2025-11-27T12:26:48Z-
dc.date.issued2021
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210914150624
dc.identifier.citationЧегадаев, Е. Е. Разработка способа диагностирования электродиффузионных отказов тонкопленочной металлизации ИМС методом термографии : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Е. Е. Чегадаев ; рук. работы А. В. Архипов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики,. - Самара, 2021. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55177-
dc.description.abstractОбъектом исследования являются сильноточные проводникитонкопленочной металлизации ИМС.Цель работы изучить процесс образования дефектов тонкопленочныхпроводников сильноточной металлизации микроэлектронных приборов иразработать метод по диагностированию, основанный на термохромизмежидких кристаллов.В результате выполнения работы разработан новый методдиагностирования электродиффузионных отказов тонкопленочнойметаллизации ИМС.
dc.subjectметод термографии
dc.subjectдефектоструктуры
dc.subjectэпитаксиальные металлические пленки
dc.subjectэлектродиффузия
dc.subjectметоды контроля
dc.subject.rugasnti47.33.31
dc.subject.udc621.382.049.772
dc.titleРазработка способа диагностирования электродиффузионных отказов тонкопленочной металлизации ИМС методом термографии
dc.typeText
local.contributor.authorматематики и электроники
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Razrabotka-sposoba-diagnostirovaniya-elektrodiffuzionnyh-otkazov-tonkoplenochnoi-metallizacii-IMS-metodom-termografii-94355
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Чегадаев_Егор_Евгеньевич_Разработка_способа_диагностического_контроля.pdf960.38 kBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.