Samara University Repository
Welcome to the Samara University repository!
This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.
The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.
Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.
Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).
Use the archive for study, research, and professional development!
| Title: | Получение тонких диэлектрических пленок методом реактивного магнетронного распыления |
| Authors: | Золотов А. Д. Карпеев С. В. Шишкина Д. А. |
| Keywords: | метод реактивного магнетронного распыления показатель преломления реактивное магнетронное распыление тонкие диэлектрические пленки фотолитография |
| Issue Date: | 2021 |
| Citation: | Золотов, А. Д. Получение тонких диэлектрических пленок методом реактивного магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. Д. Золотов ; рук. работы С. В. Карпеев; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, ма. - Самара, 2021. - on-line |
| Abstract: | Объектом исследования является процесс получения диэлектрических плёнок методом магнетронного реактивного напыления. Цель работы – экспериментальным способом получить оптимальныепараметры реактивного напыления и произвести объективное измерение показателя преломления для разных материалов. В процессе работы были исследованы экспериментальные образцы трёх подложек с материалами, напылёнными методом магнетронного реактивного напыления: оксид алюминия (Al 2 O 3 ), оксид кремния (SiO 2 ), оксид титана (TiO 2 ). На рефрактометре произведено исследование толщины напылённогоматериала. В ходе исследований были установлены оптимальные условия напыления вышеуказанных материалов для метода магнетронного реактивногонапыления на установке ЭТНА-100-МТ. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55115 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Золотов_Алексей_Дмитриевич_Получение_тонких_диэлектрических_пленок.pdf | 1.38 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.