1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЗолотов А. Д.
dc.contributor.authorКарпеев С. В.
dc.contributor.authorШишкина Д. А.
dc.coverage.spatialметод реактивного магнетронного распыления
dc.coverage.spatialпоказатель преломления
dc.coverage.spatialреактивное магнетронное распыление
dc.coverage.spatialтонкие диэлектрические пленки
dc.coverage.spatialфотолитография
dc.creatorЗолотов А. Д.
dc.date2021
dc.date.accessioned2025-11-27T12:18:50Z-
dc.date.available2025-11-27T12:18:50Z-
dc.date.issued2021
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210914135043
dc.identifier.citationЗолотов, А. Д. Получение тонких диэлектрических пленок методом реактивного магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. Д. Золотов ; рук. работы С. В. Карпеев; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, ма. - Самара, 2021. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/55115-
dc.description.abstractОбъектом исследования является процесс получения диэлектрических плёнок методом магнетронного реактивного напыления. Цель работы – экспериментальным способом получить оптимальныепараметры реактивного напыления и произвести объективное измерение показателя преломления для разных материалов. В процессе работы были исследованы экспериментальные образцы трёх подложек с материалами, напылёнными методом магнетронного реактивного напыления: оксид алюминия (Al 2 O 3 ), оксид кремния (SiO 2 ), оксид титана (TiO 2 ). На рефрактометре произведено исследование толщины напылённогоматериала. В ходе исследований были установлены оптимальные условия напыления вышеуказанных материалов для метода магнетронного реактивногонапыления на установке ЭТНА-100-МТ.
dc.subjectметод реактивного магнетронного распыления
dc.subjectпоказатель преломления
dc.subjectреактивное магнетронное распыление
dc.subjectтонкие диэлектрические пленки
dc.subjectфотолитография
dc.subject.rugasnti55.22
dc.subject.udc621.793.7
dc.titleПолучение тонких диэлектрических пленок методом реактивного магнетронного распыления
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorматематики и электроники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Poluchenie-tonkih-dielektricheskih-plenok-metodom-reaktivnogo-magnetronnogo-raspyleniya-94347
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Золотов_Алексей_Дмитриевич_Получение_тонких_диэлектрических_пленок.pdf1.38 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.