Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Вопросы надёжности МДП-устройств с затворным high-k диэлектриком |
| Authors: | Кропотов М. С. Шалимова М. Б. |
| Keywords: | полупроводниковые устройства затворные high-k диэлектрики соединения редкоземельных элементов германий полевые транзисторы МДП-устройства |
| Issue Date: | 2021 |
| Citation: | Кропотов, М. С. Вопросы надёжности МДП-устройств с затворным high-k диэлектриком : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.04.02 "Физика" (уровень магистратуры) / М. С. Кропотов ; рук. работы М. Б. Шалимова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак-т, Каф. физики т. - Самара, 2021. - on-line |
| Abstract: | Объектом исследования данной выпускной квалификационной работы являются МДП-структуры со фторсодержащими high-k диэлектриками. Целью работы является анализ изменения параметров германиевых МДП- структур с high-k диэлектриками (фториды иттрия, неодима, самария), подвергнутых действию высокого электрического поля в процессе электроформовки. В качестве экспериментальных образцов использовались фторсодержащие диэлектрические пленки на монокристаллических подложках германия. Измерены высокочастотные вольт-ёмкостные характеристики получившихся МДП-структур с последующей оценкой и анализом влияния воздействия электрических полей на деградацию их параметров. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/54973 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Кропотов_Михаил_Сергеевич_Вопросы_надёжности_устройств.pdf | 2.33 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.