1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКропотов М. С.
dc.contributor.authorШалимова М. Б.
dc.coverage.spatialгерманий
dc.coverage.spatialзатворные high-k диэлектрики
dc.coverage.spatialМДП-устройства
dc.coverage.spatialполевые транзисторы
dc.coverage.spatialполупроводниковые устройства
dc.coverage.spatialсоединения редкоземельных элементов
dc.creatorКропотов М. С.
dc.date2021
dc.date.accessioned2025-11-27T12:15:09Z-
dc.date.available2025-11-27T12:15:09Z-
dc.date.issued2021
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210924140644
dc.identifier.citationКропотов, М. С. Вопросы надёжности МДП-устройств с затворным high-k диэлектриком : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.04.02 "Физика" (уровень магистратуры) / М. С. Кропотов ; рук. работы М. Б. Шалимова ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак-т, Каф. физики т. - Самара, 2021. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/54973-
dc.description.abstractОбъектом исследования данной выпускной квалификационной работы являются МДП-структуры со фторсодержащими high-k диэлектриками. Целью работы является анализ изменения параметров германиевых МДП- структур с high-k диэлектриками (фториды иттрия, неодима, самария), подвергнутых действию высокого электрического поля в процессе электроформовки. В качестве экспериментальных образцов использовались фторсодержащие диэлектрические пленки на монокристаллических подложках германия. Измерены высокочастотные вольт-ёмкостные характеристики получившихся МДП-структур с последующей оценкой и анализом влияния воздействия электрических полей на деградацию их параметров.
dc.subjectполупроводниковые устройства
dc.subjectзатворные high-k диэлектрики
dc.subjectсоединения редкоземельных элементов
dc.subjectгерманий
dc.subjectполевые транзисторы
dc.subjectМДП-устройства
dc.subject.rugasnti47.33.29
dc.subject.udc621.382
dc.titleВопросы надёжности МДП-устройств с затворным high-k диэлектриком
dc.typeText
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorЕстественнонаучный институт
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Voprosy-nadezhnosti-MDPustroistv-s-zatvornym-highk-dielektrikom-94306
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Кропотов_Михаил_Сергеевич_Вопросы_надёжности_устройств.pdf2.33 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.