Samara University Repository
Welcome to the Samara University repository!
This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.
The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.
Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.
Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).
Use the archive for study, research, and professional development!
| Title: | Разработка физико-математической модели напыления тонкопленочного покрытия в системе с планетарным перемещением подложки |
| Authors: | Азаров А. В. Козлова И. Н. Филиппов С. Б. |
| Keywords: | планетарные системы перемещения подложки распределение толщины тонкопленочного покрытия тонкопленочные покрытия физико-математические модели |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Азаров, А. В. Разработка физико-математической модели напыления тонкопленочного покрытия в системе с планетарным перемещением подложки : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. В. Азаров ; рук. работы И. Н. Козлова; рец. С. Б. Филиппов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элект. - Самара, 2018. - on-line |
| Abstract: | В данной работе рассматриваются проблемы, связанные с равномерным нанесением тонкопленочных покрытий.Цель работы – разработать математическую модель для расчета профиля распределения толщины тонкопленочного покрытия в системе с перемещением подложки по планетарной траектории.Центральным моментом работы явилась математическая модель распределения тонкопленочного покрытия при напылении ее в системе с планетарным перемещением подложки.В результате анализа профиля распределения толщины тонкопленочного покрытия, полученного при моделировании, установлено, что в исследуемой системе коэффициент равномерности оказался выше на 0,04, чем в системе с неподвижной подложкой.Данная работа будет интересна студентам и аспирантам, чьи направления связаны с тонкопленочными технологиями и установками для их получения. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/54787 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Азаров_Андрей_Владимирович_Разработка_физико_математической_модели.pdf | 1.43 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.