1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАзаров А. В.
dc.contributor.authorКозлова И. Н.
dc.contributor.authorФилиппов С. Б.
dc.coverage.spatialраспределение толщины тонкопленочного покрытия
dc.coverage.spatialпланетарные системы перемещения подложки
dc.coverage.spatialфизико-математические модели
dc.coverage.spatialтонкопленочные покрытия
dc.creatorАзаров А. В.
dc.date2018
dc.date.accessioned2025-11-27T12:10:57Z-
dc.date.available2025-11-27T12:10:57Z-
dc.date.issued2018
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180720130443
dc.identifier.citationАзаров, А. В. Разработка физико-математической модели напыления тонкопленочного покрытия в системе с планетарным перемещением подложки : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. В. Азаров ; рук. работы И. Н. Козлова; рец. С. Б. Филиппов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элект. - Самара, 2018. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/54787-
dc.description.abstractВ данной работе рассматриваются проблемы, связанные с равномерным нанесением тонкопленочных покрытий.Цель работы – разработать математическую модель для расчета профиля распределения толщины тонкопленочного покрытия в системе с перемещением подложки по планетарной траектории.Центральным моментом работы явилась математическая модель распределения тонкопленочного покрытия при напылении ее в системе с планетарным перемещением подложки.В результате анализа профиля распределения толщины тонкопленочного покрытия, полученного при моделировании, установлено, что в исследуемой системе коэффициент равномерности оказался выше на 0,04, чем в системе с неподвижной подложкой.Данная работа будет интересна студентам и аспирантам, чьи направления связаны с тонкопленочными технологиями и установками для их получения.
dc.subjectпланетарные системы перемещения подложки
dc.subjectраспределение толщины тонкопленочного покрытия
dc.subjectтонкопленочные покрытия
dc.subjectфизико-математические модели
dc.subject.rugasnti47.33.37
dc.subject.udc621.383
dc.titleРазработка физико-математической модели напыления тонкопленочного покрытия в системе с планетарным перемещением подложки
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorматематики и электроники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Razrabotka-fizikomatematicheskoi-modeli-napyleniya-tonkoplenochnogo-pokrytiya-v-sisteme-s-planetarnym-peremesheniem-podlozhki-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-74918
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Азаров_Андрей_Владимирович_Разработка_физико_математической_модели.pdf1.43 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.