Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Разработка системы лазерной записи по фоторезисту |
| Authors: | Комаров А. В. Агафонов А. Н. Угланов Д. А. |
| Keywords: | лазерная литография микрофлюидные системы безмасковая лазерная литография микросистемная техника прямая лазерная запись |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Комаров, А. В. Разработка системы лазерной записи по фоторезисту : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. В. Комаров ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. Д. А. Угланов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элек. - Самара, 2018. - on-line |
| Abstract: | Данная работа посвящена разработке конструкции и изготовлению установки для выполнения безмасковой лазерной литографии, используемой при создании устройств микросистемной техники и микрофлюидных систем с характерными размерами структур более 50 мкм |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/54705 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Комаров_Антон_Вячеславович_Разработка_системы_лазерной_записи.pdf | 2.17 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.