Разработка системы лазерной записи по фоторезисту

Комаров А. В.; Агафонов А. Н.; Угланов Д. А.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Комаров А. В.
dc.contributor.author	Агафонов А. Н.
dc.contributor.author	Угланов Д. А.
dc.coverage.spatial	безмасковая лазерная литография
dc.coverage.spatial	микросистемная техника
dc.coverage.spatial	микрофлюидные системы
dc.coverage.spatial	лазерная литография
dc.coverage.spatial	прямая лазерная запись
dc.creator	Комаров А. В.
dc.date	2018
dc.date.accessioned	2025-11-27T12:10:03Z	-
dc.date.available	2025-11-27T12:10:03Z	-
dc.date.issued	2018
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\ВКР20180718132222
dc.identifier.citation	Комаров, А. В. Разработка системы лазерной записи по фоторезисту : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. В. Комаров ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. Д. А. Угланов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элек. - Самара, 2018. - on-line
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/54705	-
dc.description.abstract	Данная работа посвящена разработке конструкции и изготовлению установки для выполнения безмасковой лазерной литографии, используемой при создании устройств микросистемной техники и микрофлюидных систем с характерными размерами структур более 50 мкм
dc.subject	безмасковая лазерная литография
dc.subject	лазерная литография
dc.subject	микросистемная техника
dc.subject	микрофлюидные системы
dc.subject	прямая лазерная запись
dc.subject.rugasnti	47.01
dc.subject.udc	621.373.8
dc.title	Разработка системы лазерной записи по фоторезисту
dc.type	Text
local.contributor.author	Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.author	Институт информатики
local.contributor.author	математики и электроники
local.contributor.author	Министерство образования и науки Российской Федерации
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Razrabotka-sistemy-lazernoi-zapisi-po-fotorezistu-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-74753
Appears in Collections:	Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:

File	Size	Format
Комаров_Антон_Вячеславович_Разработка_системы_лазерной_записи.pdf	2.17 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy

Show simple item record