1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКомаров А. В.
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.
dc.contributor.authorУгланов Д. А.
dc.coverage.spatialбезмасковая лазерная литография
dc.coverage.spatialмикросистемная техника
dc.coverage.spatialмикрофлюидные системы
dc.coverage.spatialлазерная литография
dc.coverage.spatialпрямая лазерная запись
dc.creatorКомаров А. В.
dc.date2018
dc.date.accessioned2025-11-27T12:10:03Z-
dc.date.available2025-11-27T12:10:03Z-
dc.date.issued2018
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180718132222
dc.identifier.citationКомаров, А. В. Разработка системы лазерной записи по фоторезисту : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. В. Комаров ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. Д. А. Угланов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элек. - Самара, 2018. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/54705-
dc.description.abstractДанная работа посвящена разработке конструкции и изготовлению установки для выполнения безмасковой лазерной литографии, используемой при создании устройств микросистемной техники и микрофлюидных систем с характерными размерами структур более 50 мкм
dc.subjectлазерная литография
dc.subjectмикрофлюидные системы
dc.subjectбезмасковая лазерная литография
dc.subjectмикросистемная техника
dc.subjectпрямая лазерная запись
dc.subject.rugasnti47.01
dc.subject.udc621.373.8
dc.titleРазработка системы лазерной записи по фоторезисту
dc.typeText
local.contributor.authorматематики и электроники
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Razrabotka-sistemy-lazernoi-zapisi-po-fotorezistu-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-74753
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Комаров_Антон_Вячеславович_Разработка_системы_лазерной_записи.pdf2.17 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.