Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Методы нанесения тонких металлических плёнок |
| Authors: | Лобова Т. С. Шишкина Д. А. Ерендеев Ю. П. |
| Keywords: | антиотражающее покрытие вакуум коэффициент отражения магнетронное напыление многослойные тонкопленочные структуры реактивное распыление спектроскопия тонкие металлические пленки |
| Issue Date: | 2022 |
| Citation: | Лобова, Т. С. Методы нанесения тонких металлических плёнок : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Т. С. Лобова ; рук. работы Д. А. Шишкина ; нормоконтролер Ю. П. Ерендеев ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики и. - Самара, 2022. - 1 файл (931 Кб). - Текст : электронный |
| Abstract: | В данной выпускной квалификационной работе разработанамаршрутная карта нанесения антиотражающего покрытия на основе многослойной тонкопленочной структуры с помощью реактивного магнетронного распыления.Объектом исследования является кремниевая пластина, на поверхность которой нанесены слои диоксида кремния и хрома. Данное покрытие уменьшает коэффициент отражения. Требуемый коэффициент отражения неболее 20% при длине волны λ=700 нм. В процессе работы использована установка магнетронного напыления ЭТНА-100-МТ. Исследованы оптические характеристики абсорбера – толщина пленки и коэффициент отражения при λ=700 нм с помощью спектроскопического рефлектометра и интерферометра белого света WLI-DMR. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/54111 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Лобова_Татьяна_Сергеевна_Методы_нанесения_тонких_металлических.pdf | 930.72 kB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.