1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЛобова Т. С.
dc.contributor.authorШишкина Д. А.
dc.contributor.authorЕрендеев Ю. П.
dc.coverage.spatialантиотражающее покрытие
dc.coverage.spatialвакуум
dc.coverage.spatialкоэффициент отражения
dc.coverage.spatialмагнетронное напыление
dc.coverage.spatialмногослойные тонкопленочные структуры
dc.coverage.spatialреактивное распыление
dc.coverage.spatialспектроскопия
dc.coverage.spatialтонкие металлические пленки
dc.creatorЛобова Т. С.
dc.date2022
dc.date.accessioned2025-11-27T12:30:47Z-
dc.date.available2025-11-27T12:30:47Z-
dc.date.issued2022
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20220810101133
dc.identifier.citationЛобова, Т. С. Методы нанесения тонких металлических плёнок : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Т. С. Лобова ; рук. работы Д. А. Шишкина ; нормоконтролер Ю. П. Ерендеев ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики и. - Самара, 2022. - 1 файл (931 Кб). - Текст : электронный
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/54111-
dc.description.abstractВ данной выпускной квалификационной работе разработанамаршрутная карта нанесения антиотражающего покрытия на основе многослойной тонкопленочной структуры с помощью реактивного магнетронного распыления.Объектом исследования является кремниевая пластина, на поверхность которой нанесены слои диоксида кремния и хрома. Данное покрытие уменьшает коэффициент отражения. Требуемый коэффициент отражения неболее 20% при длине волны λ=700 нм. В процессе работы использована установка магнетронного напыления ЭТНА-100-МТ. Исследованы оптические характеристики абсорбера – толщина пленки и коэффициент отражения при λ=700 нм с помощью спектроскопического рефлектометра и интерферометра белого света WLI-DMR.
dc.subjectкоэффициент отражения
dc.subjectтонкие металлические пленки
dc.subjectспектроскопия
dc.subjectреактивное распыление
dc.subjectмногослойные тонкопленочные структуры
dc.subjectмагнетронное напыление
dc.subjectвакуум
dc.subjectантиотражающее покрытие
dc.subject.rugasnti55.22
dc.subject.udc621.793.7
dc.titleМетоды нанесения тонких металлических плёнок
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики и кибернетики
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Metody-naneseniya-tonkih-metallicheskih-plenok-98714
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Metody-naneseniya-tonkih-metallicheskih-plenok-98714
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Лобова_Татьяна_Сергеевна_Методы_нанесения_тонких_металлических.pdf930.72 kBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.