Расчет, разработка технологии изготовления и исследование тонкопленочного резистора типа меандр

Abstract

Объектом исследования являются технология и методы изготовления тонкопленочных резисторов. Целью данной выпускной квалификационной работы бакалавра является расчѐт, разработка технологии изготовления и исследование тонкопленочного резистора типа меандр. Область применения знаний и результатов, полученных в работе: портативные компьютеры, СВЧ техника, измерительное и испытательное оборудование, системы управления двигателем автомобиля и т.д. Для реализации резистора по заданным параметрам были произведены расчеты его формы с учетом различных погрешностей, связанных с особенностью формы и способа реализации тонкопленочного резистора, с помощью Mathcad 15. Моделирование резистора производилось в системе автоматизированного проектирования КОМПАС-3D. В ходе работы были изучены различные способы нанесения тонких пленок, предложен план процесса изготовления методом двойной фотолитографии пленки магнетронной установкой ЭТНА-100-МТ, изготовлен и исследован тонкопленочный элемент.