Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЖидецкий Н. Д.
dc.contributor.authorКарпеев С. В.
dc.contributor.authorЕрендеев Ю. П.
dc.coverage.spatialмагнетронное распыление
dc.coverage.spatialпроектирование тонкопленочных резисторов
dc.coverage.spatialтехнология изготовления
dc.coverage.spatialтонкие пленки
dc.coverage.spatialтонкопленочные резисторы типа меандр
dc.creatorЖидецкий Н. Д.
dc.date2022
dc.date.accessioned2025-11-27T12:22:40Z-
dc.date.available2025-11-27T12:22:40Z-
dc.date.issued2022
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20220621153344
dc.identifier.citationЖидецкий, Н. Д. Расчет, разработка технологии изготовления и исследование тонкопленочного резистора типа меандр : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Н. Д. Жидецкий ; рук. работы С. В. Карпеев ; нормоконтролер Ю. П. Ерендеев ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики. - Самара, 2022. - 1 файл (4,73 Мб). - Текст : электронный
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/53837-
dc.description.abstractОбъектом исследования являются технология и методы изготовления тонкопленочных резисторов. Целью данной выпускной квалификационной работы бакалавра является расчѐт, разработка технологии изготовления и исследование тонкопленочного резистора типа меандр. Область применения знаний и результатов, полученных в работе: портативные компьютеры, СВЧ техника, измерительное и испытательное оборудование, системы управления двигателем автомобиля и т.д. Для реализации резистора по заданным параметрам были произведены расчеты его формы с учетом различных погрешностей, связанных с особенностью формы и способа реализации тонкопленочного резистора, с помощью Mathcad 15. Моделирование резистора производилось в системе автоматизированного проектирования КОМПАС-3D. В ходе работы были изучены различные способы нанесения тонких пленок, предложен план процесса изготовления методом двойной фотолитографии пленки магнетронной установкой ЭТНА-100-МТ, изготовлен и исследован тонкопленочный элемент.
dc.subjectмагнетронное распыление
dc.subjectпроектирование тонкопленочных резисторов
dc.subjectтехнология изготовления
dc.subjectтонкие пленки
dc.subjectтонкопленочные резисторы типа меандр
dc.subject.rugasnti47.61
dc.subject.udc621.316.8
dc.titleРасчет, разработка технологии изготовления и исследование тонкопленочного резистора типа меандр
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики и кибернетики
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Raschet-razrabotka-tehnologii-izgotovleniya-i-issledovanie-tonkoplenochnogo-rezistora-tipa-meandr-98257
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Raschet-razrabotka-tehnologii-izgotovleniya-i-issledovanie-tonkoplenochnogo-rezistora-tipa-meandr-98257
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.