Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Расчет, разработка технологии изготовления и исследование тонкопленочного резистора типа змейка |
| Authors: | Ширина В. А. Карпеев С. В. Ерендеев Ю. П. |
| Keywords: | магнетронное распыление фотолитография тонкопленочные резисторы типа змейка тонкие пленки конструирование |
| Issue Date: | 2022 |
| Citation: | Ширина, В. А. Расчет, разработка технологии изготовления и исследование тонкопленочного резистора типа змейка : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / В. А. Ширина ; рук. работы С. В. Карпеев ; нормоконтролер Ю. П. Ерендеев ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики и. - Самара, 2022. - 1 файл (4,2 Мб). - Текст : электронный |
| Abstract: | Объектом исследования является технология и методы изготовления тонкопленочного резистора типа змейка, его расчет, проектирование и изготовление. Цель работы – рассчитать, разработать технологию изготовления иисследовать тонкопленочный резистор типа змейка.В процессе работы проанализирована соответствующая литература по теме работы. Рассчитан и сконструирован тонкопленочный резистор типа змейка. Выбраны необходимые материалы для изготовлениятонкопленочного резистора (ТПР) типа змейка. Подобраны режимы и параметры для реализации процессов технологического маршрута изготовления ТПР. Составлена маршрутная технология для изготовлениянеобходимого тонкопленочного элемента; разработан, изготовлен и исследован тонкопленочный резистор. В процессе работы использована установка магнетронного напыления ЭТНА-100-МТ, оптический микроскоп Leica DMRE. Полученный тонкопленочный резистор имеет широкую область применения в: системах электронной обработки данных, промышленном и медицинском электрооборудовании, телекоммуникац |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/53828 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Ширина_Виктория_Александровна_Расчет,_разработка_технологии_изготовления.pdf | 4.31 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.