1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorШирина В. А.
dc.contributor.authorКарпеев С. В.
dc.contributor.authorЕрендеев Ю. П.
dc.coverage.spatialконструирование
dc.coverage.spatialмагнетронное распыление
dc.coverage.spatialтонкие пленки
dc.coverage.spatialтонкопленочные резисторы типа змейка
dc.coverage.spatialфотолитография
dc.creatorШирина В. А.
dc.date2022
dc.date.accessioned2025-11-27T12:22:43Z-
dc.date.available2025-11-27T12:22:43Z-
dc.date.issued2022
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20220621152839
dc.identifier.citationШирина, В. А. Расчет, разработка технологии изготовления и исследование тонкопленочного резистора типа змейка : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / В. А. Ширина ; рук. работы С. В. Карпеев ; нормоконтролер Ю. П. Ерендеев ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики и. - Самара, 2022. - 1 файл (4,2 Мб). - Текст : электронный
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/53828-
dc.description.abstractОбъектом исследования является технология и методы изготовления тонкопленочного резистора типа змейка, его расчет, проектирование и изготовление. Цель работы – рассчитать, разработать технологию изготовления иисследовать тонкопленочный резистор типа змейка.В процессе работы проанализирована соответствующая литература по теме работы. Рассчитан и сконструирован тонкопленочный резистор типа змейка. Выбраны необходимые материалы для изготовлениятонкопленочного резистора (ТПР) типа змейка. Подобраны режимы и параметры для реализации процессов технологического маршрута изготовления ТПР. Составлена маршрутная технология для изготовлениянеобходимого тонкопленочного элемента; разработан, изготовлен и исследован тонкопленочный резистор. В процессе работы использована установка магнетронного напыления ЭТНА-100-МТ, оптический микроскоп Leica DMRE. Полученный тонкопленочный резистор имеет широкую область применения в: системах электронной обработки данных, промышленном и медицинском электрооборудовании, телекоммуникац
dc.subjectконструирование
dc.subjectмагнетронное распыление
dc.subjectтонкие пленки
dc.subjectтонкопленочные резисторы типа змейка
dc.subjectфотолитография
dc.subject.rugasnti47.61
dc.subject.udc621.316.8
dc.titleРасчет, разработка технологии изготовления и исследование тонкопленочного резистора типа змейка
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики и кибернетики
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Raschet-razrabotka-tehnologii-izgotovleniya-i-issledovanie-tonkoplenochnogo-rezistora-tipa-zmeika-98211
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Raschet-razrabotka-tehnologii-izgotovleniya-i-issledovanie-tonkoplenochnogo-rezistora-tipa-zmeika-98211
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Ширина_Виктория_Александровна_Расчет,_разработка_технологии_изготовления.pdf4.31 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.