Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Моделирование роста плёнок на фоточувствительных структурах кремния |
| Authors: | Хоробров В. С. Шишкина Д. А. Гурская А. В. Ерендеев Ю. П. |
| Keywords: | COMSOL Multiphysics газофазное осаждение карбид кремния моделирование роста пленок оптические покрытия фоточувствительные структуры кремния |
| Issue Date: | 2022 |
| Citation: | Хоробров, В. С. Моделирование роста плёнок на фоточувствительных структурах кремния : вып. квалификац. работа по направлению подгот 03.04.01 "Прикладные математика и физика" (уровень магистратуры) / В. С. Хоробров ; рук. работы Д. А. Шишкина ; рец. А. В. Гурская ; нормоконтролер Ю. П. Ерендеев ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-. - Самара, 2022. - 1 файл (5,7 Мб). - Текст : электронный |
| Abstract: | Объектом исследования является физико-математическая модель процесса создания покрытия на фоточувствительные элементы SiC/Si.Цель работы – разработка физико-математической модели, описывающую процесс нанесения покрытия на фоточувствительный кремниевый элемент. В результате работы получена физико-математическая модель,описывающая получение структур SiC/Si методом высокотемпературного CVD, а также фоточувствительные структуры SiC/Si. Результаты данной работы могут быть использованы при разработкеустройств для биомедицины, электроники и солнечной энергетики. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/53819 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Хоробров_Виталий_Сергеевич_Моделирование_роста_плёнок.pdf | 5.83 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.