1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorХоробров В. С.
dc.contributor.authorШишкина Д. А.
dc.contributor.authorГурская А. В.
dc.contributor.authorЕрендеев Ю. П.
dc.coverage.spatialCOMSOL Multiphysics
dc.coverage.spatialгазофазное осаждение
dc.coverage.spatialкарбид кремния
dc.coverage.spatialмоделирование роста пленок
dc.coverage.spatialоптические покрытия
dc.coverage.spatialфоточувствительные структуры кремния
dc.creatorХоробров В. С.
dc.date2022
dc.date.accessioned2025-11-27T12:22:39Z-
dc.date.available2025-11-27T12:22:39Z-
dc.date.issued2022
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20220621142619
dc.identifier.citationХоробров, В. С. Моделирование роста плёнок на фоточувствительных структурах кремния : вып. квалификац. работа по направлению подгот 03.04.01 "Прикладные математика и физика" (уровень магистратуры) / В. С. Хоробров ; рук. работы Д. А. Шишкина ; рец. А. В. Гурская ; нормоконтролер Ю. П. Ерендеев ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-. - Самара, 2022. - 1 файл (5,7 Мб). - Текст : электронный
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/53819-
dc.description.abstractОбъектом исследования является физико-математическая модель процесса создания покрытия на фоточувствительные элементы SiC/Si.Цель работы – разработка физико-математической модели, описывающую процесс нанесения покрытия на фоточувствительный кремниевый элемент. В результате работы получена физико-математическая модель,описывающая получение структур SiC/Si методом высокотемпературного CVD, а также фоточувствительные структуры SiC/Si. Результаты данной работы могут быть использованы при разработкеустройств для биомедицины, электроники и солнечной энергетики.
dc.subjectкарбид кремния
dc.subjectмоделирование роста пленок
dc.subjectCOMSOL Multiphysics
dc.subjectгазофазное осаждение
dc.subjectфоточувствительные структуры кремния
dc.subjectоптические покрытия
dc.subject.rugasnti29.31
dc.subject.udc535.41
dc.titleМоделирование роста плёнок на фоточувствительных структурах кремния
dc.typeText
local.contributor.authorИнститут информатики и кибернетики
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Modelirovanie-rosta-plenok-na-fotochuvstvitelnyh-strukturah-kremniya-98208
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Modelirovanie-rosta-plenok-na-fotochuvstvitelnyh-strukturah-kremniya-98208
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Хоробров_Виталий_Сергеевич_Моделирование_роста_плёнок.pdf5.83 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.