Моделирование роста плёнок на фоточувствительных структурах кремния

Хоробров В. С.; Шишкина Д. А.; Гурская А. В.; Ерендеев Ю. П.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Хоробров В. С.
dc.contributor.author	Шишкина Д. А.
dc.contributor.author	Гурская А. В.
dc.contributor.author	Ерендеев Ю. П.
dc.coverage.spatial	COMSOL Multiphysics
dc.coverage.spatial	газофазное осаждение
dc.coverage.spatial	карбид кремния
dc.coverage.spatial	моделирование роста пленок
dc.coverage.spatial	оптические покрытия
dc.coverage.spatial	фоточувствительные структуры кремния
dc.creator	Хоробров В. С.
dc.date	2022
dc.date.accessioned	2025-11-27T12:22:39Z	-
dc.date.available	2025-11-27T12:22:39Z	-
dc.date.issued	2022
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\ВКР20220621142619
dc.identifier.citation	Хоробров, В. С. Моделирование роста плёнок на фоточувствительных структурах кремния : вып. квалификац. работа по направлению подгот 03.04.01 "Прикладные математика и физика" (уровень магистратуры) / В. С. Хоробров ; рук. работы Д. А. Шишкина ; рец. А. В. Гурская ; нормоконтролер Ю. П. Ерендеев ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-. - Самара, 2022. - 1 файл (5,7 Мб). - Текст : электронный
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/53819	-
dc.description.abstract	Объектом исследования является физико-математическая модель процесса создания покрытия на фоточувствительные элементы SiC/Si.Цель работы – разработка физико-математической модели, описывающую процесс нанесения покрытия на фоточувствительный кремниевый элемент. В результате работы получена физико-математическая модель,описывающая получение структур SiC/Si методом высокотемпературного CVD, а также фоточувствительные структуры SiC/Si. Результаты данной работы могут быть использованы при разработкеустройств для биомедицины, электроники и солнечной энергетики.
dc.subject	COMSOL Multiphysics
dc.subject	газофазное осаждение
dc.subject	карбид кремния
dc.subject	моделирование роста пленок
dc.subject	оптические покрытия
dc.subject	фоточувствительные структуры кремния
dc.subject.rugasnti	29.31
dc.subject.udc	535.41
dc.title	Моделирование роста плёнок на фоточувствительных структурах кремния
dc.type	Text
local.contributor.author	Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.author	Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.author	Институт информатики и кибернетики
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Modelirovanie-rosta-plenok-na-fotochuvstvitelnyh-strukturah-kremniya-98208
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Modelirovanie-rosta-plenok-na-fotochuvstvitelnyh-strukturah-kremniya-98208
Appears in Collections:	Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:

File	Size	Format
Хоробров_Виталий_Сергеевич_Моделирование_роста_плёнок.pdf	5.83 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy

Show simple item record

Samara University Repository

Welcome!