Samara University Repository
Welcome to the Samara University repository!
This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.
The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.
Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.
Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).
Use the archive for study, research, and professional development!
| Title: | Моделирование профилей распределения ионно-имплантированных примесей в многослойных структурах |
| Authors: | Макаров И. А. Козлова И. Н. |
| Keywords: | ионная имплантация ионно-имплантированные примеси легирование метод Монте-Карло метод подбора доз многослойные структуры |
| Issue Date: | 2020 |
| Citation: | Макаров, И. А. Моделирование профилей распределения ионно-имплантированных примесей в многослойных структурах : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / И. А. Макаров ; рук. работы И. Н. Козлова ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак-т электроники и приборостроен. - Самара, 2020. - on-line |
| Abstract: | В настоящей работе проводится изучение некоторых методов ионной имплантации примесей в многослойные структуры. Дается обзор принципов технологии имплантации ионов в структуру твердого тела, приводятсянекоторые популярные методы расчета распределения концентрации примеси. В работе также демонстрируются расчеты распределения концентрации имплантированных ионов бора в двух- и трехслойную структуру на основе кремния, полученные по методу Монте-Карло и методуподбора доз. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/52932 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Макаров_Илья_Андреевич_Моделирование_профилей_распределения_ионно.pdf | 393.72 kB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.