1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorМакаров И. А.
dc.contributor.authorКозлова И. Н.
dc.coverage.spatialионная имплантация
dc.coverage.spatialионно-имплантированные примеси
dc.coverage.spatialметод подбора доз
dc.coverage.spatialметод Монте-Карло
dc.coverage.spatialмногослойные структуры
dc.coverage.spatialлегирование
dc.creatorМакаров И. А.
dc.date2020
dc.date.accessioned2025-11-27T12:35:04Z-
dc.date.available2025-11-27T12:35:04Z-
dc.date.issued2020
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210218154403
dc.identifier.citationМакаров, И. А. Моделирование профилей распределения ионно-имплантированных примесей в многослойных структурах : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / И. А. Макаров ; рук. работы И. Н. Козлова ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак-т электроники и приборостроен. - Самара, 2020. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/52932-
dc.description.abstractВ настоящей работе проводится изучение некоторых методов ионной имплантации примесей в многослойные структуры. Дается обзор принципов технологии имплантации ионов в структуру твердого тела, приводятсянекоторые популярные методы расчета распределения концентрации примеси. В работе также демонстрируются расчеты распределения концентрации имплантированных ионов бора в двух- и трехслойную структуру на основе кремния, полученные по методу Монте-Карло и методуподбора доз.
dc.subjectмногослойные структуры
dc.subjectметод Монте-Карло
dc.subjectметод подбора доз
dc.subjectионная имплантация
dc.subjectионно-имплантированные примеси
dc.subjectлегирование
dc.subject.rugasnti67.09.05
dc.subject.udc620.22
dc.titleМоделирование профилей распределения ионно-имплантированных примесей в многослойных структурах
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки России
local.contributor.authorматематики и электроники
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Modelirovanie-profilei-raspredeleniya-ionnoimplantirovannyh-primesei-v-mnogosloinyh-strukturah-vyp-kvalifikac-rabota-po-napravleniu-podgot-110304-Elektronika-i-nanoelektronika-uroven-bakalavriata-89777
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Макаров_Илья_Андреевич_Моделирование_профилей_распределения_ионно.pdf393.72 kBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.