Исследование технологии создания многослойных оптических фильтров

Калинина Ю. М.; Паранин В. Д.; Саноян А. Г.

Title:	Исследование технологии создания многослойных оптических фильтров
Authors:	Калинина Ю. М. Паранин В. Д. Саноян А. Г.
Keywords:	спектрофотометрия магнетронное распыление многослойный оптический фильтр
Issue Date:	2019
Citation:	Калинина, Ю. М. Исследование технологии создания многослойных оптических фильтров : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Ю. М. Калинина ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фа. - Самаpа, 2019. - on-line
Abstract:	Объектом исследования работы является разработка технологии для создания многослойного оптического фильтра, полученного методом магнетронного распыления. Цель работы – исследовать и разработать технологию создания многослойного оптического фильтра, произвести расчет параметров фильтра и его экспериментальное оптическое исследование.В данной работе рассмотрена технология создания многослойного оптического фильтра. Получение пленок было осуществлено с помощью метода магнетронного распыления с помощью установки ЭТНА-100-МТ. В качестве материала подложки использовано стекло оптическое бесцветное К8. С помощью интерферометра белого света WLI-DMR было произведено измерение толщины полученного многослойного фильтра с использованием lift-off процесса. Также было произведено оптическое исследование полученного многослойного фильтра с целью получения спектра отражения с помощью спектрофотометра Shimadzu UV-2450.
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/52668
Appears in Collections:	Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:

File	Size	Format
Калинина_Юлия_Михайловна_Исследование_технологии_создания_многослойных.pdf	2.47 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy

Show full item record

Samara University Repository

Welcome!