Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКалинина Ю. М.
dc.contributor.authorПаранин В. Д.
dc.contributor.authorСаноян А. Г.
dc.coverage.spatialмагнетронное распыление
dc.coverage.spatialспектрофотометрия
dc.coverage.spatialмногослойный оптический фильтр
dc.creatorКалинина Ю. М.
dc.date2019
dc.date.accessioned2025-11-27T12:26:01Z-
dc.date.available2025-11-27T12:26:01Z-
dc.date.issued2019
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190807153711
dc.identifier.citationКалинина, Ю. М. Исследование технологии создания многослойных оптических фильтров : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Ю. М. Калинина ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фа. - Самаpа, 2019. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/52668-
dc.description.abstractОбъектом исследования работы является разработка технологии для создания многослойного оптического фильтра, полученного методом магнетронного распыления. Цель работы – исследовать и разработать технологию создания многослойного оптического фильтра, произвести расчет параметров фильтра и его экспериментальное оптическое исследование.В данной работе рассмотрена технология создания многослойного оптического фильтра. Получение пленок было осуществлено с помощью метода магнетронного распыления с помощью установки ЭТНА-100-МТ. В качестве материала подложки использовано стекло оптическое бесцветное К8. С помощью интерферометра белого света WLI-DMR было произведено измерение толщины полученного многослойного фильтра с использованием lift-off процесса. Также было произведено оптическое исследование полученного многослойного фильтра с целью получения спектра отражения с помощью спектрофотометра Shimadzu UV-2450.
dc.subjectспектрофотометрия
dc.subjectмагнетронное распыление
dc.subjectмногослойный оптический фильтр
dc.subject.rugasnti29.31
dc.subject.udc535.42
dc.titleИсследование технологии создания многослойных оптических фильтров
dc.typeText
local.contributor.authorМинобрнауки России
local.contributor.authorматематики и электроники
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Issledovanie-tehnologii-sozdaniya-mnogosloinyh-opticheskih-filtrov-vyp-kvalifikac-rabota-po-napravleniu-podgot-Elektronika-i-nanoelektronika-uroven-bakalavriata-83545
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.