Проектирование согласующего устройства для  вакуумных технологических процессов

Догадов В. В.; Скиданов Р. В.; Саноян А. Г.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Title:	Проектирование согласующего устройства для вакуумных технологических процессов
Authors:	Догадов В. В. Скиданов Р. В. Саноян А. Г.
Keywords:	L-C цепи контроль параметров магнетронное напыление расчет надежности расчет рентабельности расчет экономической эффективности расчет экранировки согласующие устройства
Issue Date:	2019
Citation:	Догадов, В. В. Проектирование согласующего устройства для вакуумных технологических процессов : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / В. В. Догадов ; рук. работы Р. В. Скиданов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фа. - Самаpа, 2019. - on-line
Abstract:	Разработана конструкция прибора для согласования сопротивления высокочастотного генератора и магнетронной распылительной системы,предназначенного для использования в лабораториях с заданными техническими характеристиками и нормальными условиями эксплуатации.Проведены следующие расчеты: расчет импеданса плазмы МРС, расчет параметров L-C цепи, расчет параметров катушки L спец. назначения, расчетэкранировки, расчет надежности, расчет себестоимости, расчет экономической эффективности, расчет рентабельности. Разработаны электрическая принципиальная схема и сборочный чертеж.
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/52202
Appears in Collections:	Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:

File	Size	Format
Догадов_Владимир_Витальевич_Проектирование_согласующего_устройства.pdf	3.1 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy

Show full item record