1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorДогадов В. В.
dc.contributor.authorСкиданов Р. В.
dc.contributor.authorСаноян А. Г.
dc.coverage.spatialL-C цепи
dc.coverage.spatialконтроль параметров
dc.coverage.spatialсогласующие устройства
dc.coverage.spatialмагнетронное напыление
dc.coverage.spatialрасчет надежности
dc.coverage.spatialрасчет рентабельности
dc.coverage.spatialрасчет экономической эффективности
dc.coverage.spatialрасчет экранировки
dc.creatorДогадов В. В.
dc.date2019
dc.date.accessioned2025-11-27T12:19:29Z-
dc.date.available2025-11-27T12:19:29Z-
dc.date.issued2019
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190807160037
dc.identifier.citationДогадов, В. В. Проектирование согласующего устройства для вакуумных технологических процессов : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / В. В. Догадов ; рук. работы Р. В. Скиданов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фа. - Самаpа, 2019. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/52202-
dc.description.abstractРазработана конструкция прибора для согласования сопротивления высокочастотного генератора и магнетронной распылительной системы,предназначенного для использования в лабораториях с заданными техническими характеристиками и нормальными условиями эксплуатации.Проведены следующие расчеты: расчет импеданса плазмы МРС, расчет параметров L-C цепи, расчет параметров катушки L спец. назначения, расчетэкранировки, расчет надежности, расчет себестоимости, расчет экономической эффективности, расчет рентабельности. Разработаны электрическая принципиальная схема и сборочный чертеж.
dc.subjectL-C цепи
dc.subjectконтроль параметров
dc.subjectмагнетронное напыление
dc.subjectрасчет надежности
dc.subjectрасчет рентабельности
dc.subjectрасчет экономической эффективности
dc.subjectрасчет экранировки
dc.subjectсогласующие устройства
dc.subject.rugasnti47.33
dc.subject.udc621.382.2
dc.titleПроектирование согласующего устройства для вакуумных технологических процессов
dc.typeText
local.contributor.authorМинобрнауки России
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorматематики и электроники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Proektirovanie-soglasuushego-ustroistva-dlya-vakuumnyh-tehnologicheskih-processov-vyp-kvalifikac-rabota-po-napravleniu-podgot-Elektronika-i-nanoelektronika-uroven-bakalavriata-83537
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Догадов_Владимир_Витальевич_Проектирование_согласующего_устройства.pdf3.1 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.