Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Исследование технологии нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления |
| Authors: | Старикова О. В. Паранин В. Д. Саноян А. Г. |
| Keywords: | просветляющее покрытие реактивное распыление спектроскопия антиотражающее покрытие вакуум коэффициент отражения магнетронное напыление эллипсометрия |
| Issue Date: | 2019 |
| Citation: | Старикова, О. В. Исследование технологии нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / О. В. Старикова ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-line |
| Abstract: | В данной выпускной квалификационной работе разработана технология нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления. Объектом исследования является кремниевая пластина, на поверхность которой нанесѐн слой диоксида кремния. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/52187 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Старикова_Оксана_Владимировна_Исследование_технологии_нанесения_антиотражающего.pdf | 2.28 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.