1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСтарикова О. В.
dc.contributor.authorПаранин В. Д.
dc.contributor.authorСаноян А. Г.
dc.coverage.spatialреактивное распыление
dc.coverage.spatialэллипсометрия
dc.coverage.spatialвакуум
dc.coverage.spatialантиотражающее покрытие
dc.coverage.spatialкоэффициент отражения
dc.coverage.spatialмагнетронное напыление
dc.coverage.spatialпросветляющее покрытие
dc.coverage.spatialспектроскопия
dc.creatorСтарикова О. В.
dc.date2019
dc.date.accessioned2025-11-27T12:19:10Z-
dc.date.available2025-11-27T12:19:10Z-
dc.date.issued2019
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190807154536
dc.identifier.citationСтарикова, О. В. Исследование технологии нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / О. В. Старикова ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/52187-
dc.description.abstractВ данной выпускной квалификационной работе разработана технология нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления. Объектом исследования является кремниевая пластина, на поверхность которой нанесѐн слой диоксида кремния.
dc.subjectпросветляющее покрытие
dc.subjectреактивное распыление
dc.subjectспектроскопия
dc.subjectантиотражающее покрытие
dc.subjectвакуум
dc.subjectкоэффициент отражения
dc.subjectмагнетронное напыление
dc.subjectэллипсометрия
dc.subject.rugasnti55.22
dc.subject.udc621.793.7
dc.titleИсследование технологии нанесения антиотражающего покрытия с помощью реактивного магнетронного распыления
dc.typeText
local.contributor.authorМинобрнауки России
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorматематики и электроники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Issledovanie-tehnologii-naneseniya-antiotrazhaushego-pokrytiya-s-pomoshu-reaktivnogo-magnetronnogo-raspyleniya-vyp-kvalifikac-rabota-po-napravleniu-podgot-83540
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Старикова_Оксана_Владимировна_Исследование_технологии_нанесения_антиотражающего.pdf2.28 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.