Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Оптические свойства слоев карбида кремния, получаемых методом магнетронного распыления |
| Authors: | Удалова М. С. Щербак А. В. |
| Keywords: | карбид кремния полупроводниковые структуры пленки карбида кремния оптические параметры методы определения оптических параметров метод магнетронного распыления |
| Issue Date: | 2024 |
| Citation: | Удалова, М. С. Оптические свойства слоев карбида кремния, получаемых методом магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.04.02 "Физика" (уровень магистратура), направленность (профиль) "Квантовые системы и квантовые технологии" / М. С. Удалова ; рук. работы А. В. Щербак ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак., Каф. физики тверд. - Самара, 2024. - 1 файл (2,2 Мб). - Текст : электронный |
| Abstract: | Целью данной работы является определение оптических параметров плёнок карбида кремния, получаемых методом магнетронного распыления на сапфировых подложках. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51954 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Удалова_Мария_Сергеевна_Оптические_свойства_слоев_карбида.pdf | 2.28 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.