1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorУдалова М. С.
dc.contributor.authorЩербак А. В.
dc.coverage.spatialкарбид кремния
dc.coverage.spatialметод магнетронного распыления
dc.coverage.spatialметоды определения оптических параметров
dc.coverage.spatialоптические параметры
dc.coverage.spatialпленки карбида кремния
dc.coverage.spatialполупроводниковые структуры
dc.creatorУдалова М. С.
dc.date2024
dc.date.accessioned2025-11-27T12:13:28Z-
dc.date.available2025-11-27T12:13:28Z-
dc.date.issued2024
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20240802154102
dc.identifier.citationУдалова, М. С. Оптические свойства слоев карбида кремния, получаемых методом магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.04.02 "Физика" (уровень магистратура), направленность (профиль) "Квантовые системы и квантовые технологии" / М. С. Удалова ; рук. работы А. В. Щербак ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Естественнонауч. ин-т, Физ. фак., Каф. физики тверд. - Самара, 2024. - 1 файл (2,2 Мб). - Текст : электронный
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51954-
dc.description.abstractЦелью данной работы является определение оптических параметров плёнок карбида кремния, получаемых методом магнетронного распыления на сапфировых подложках.
dc.subjectкарбид кремния
dc.subjectполупроводниковые структуры
dc.subjectпленки карбида кремния
dc.subjectоптические параметры
dc.subjectметоды определения оптических параметров
dc.subjectметод магнетронного распыления
dc.subject.rugasnti34.65
dc.subject.udc621.78
dc.titleОптические свойства слоев карбида кремния, получаемых методом магнетронного распыления
dc.typeText
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorЕстественнонаучный институт
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Opticheskie-svoistva-sloev-karbida-kremniya-poluchaemyh-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-111960
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Opticheskie-svoistva-sloev-karbida-kremniya-poluchaemyh-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-111960
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Удалова_Мария_Сергеевна_Оптические_свойства_слоев_карбида.pdf2.28 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.