Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Формирование микрорельефа в медных пленках методом гальванического осаждения |
| Authors: | Семенов А. С. Харитонов С. И. Саноян А. Г. |
| Keywords: | электролит литография резистивное испарение гальваническое осаждение магнетронное распыление |
| Issue Date: | 2019 |
| Citation: | Семенов, А. С. Формирование микрорельефа в медных пленках методом гальванического осаждения : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. С. Семенов ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-line |
| Abstract: | Объектом исследования являются методы получения металлических функциональных покрытий.Цель работы – получение микрорельефа в медной пленке методом гальванического осаждения.В ходе выполнения работы были исследованы экспериментальные образцы подложек из |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51842 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Семенов_Алексей_Сергеевич_Формирование_микрорельефа_медных.pdf | 1.72 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.