1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСеменов А. С.
dc.contributor.authorХаритонов С. И.
dc.contributor.authorСаноян А. Г.
dc.coverage.spatialрезистивное испарение
dc.coverage.spatialмагнетронное распыление
dc.coverage.spatialлитография
dc.coverage.spatialэлектролит
dc.coverage.spatialгальваническое осаждение
dc.creatorСеменов А. С.
dc.date2019
dc.date.accessioned2025-11-27T12:11:06Z-
dc.date.available2025-11-27T12:11:06Z-
dc.date.issued2019
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190808102137
dc.identifier.citationСеменов, А. С. Формирование микрорельефа в медных пленках методом гальванического осаждения : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. С. Семенов ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51842-
dc.description.abstractОбъектом исследования являются методы получения металлических функциональных покрытий.Цель работы – получение микрорельефа в медной пленке методом гальванического осаждения.В ходе выполнения работы были исследованы экспериментальные образцы подложек из
dc.subjectэлектролит
dc.subjectлитография
dc.subjectрезистивное испарение
dc.subjectгальваническое осаждение
dc.subjectмагнетронное распыление
dc.subject.rugasnti55.22
dc.subject.udc621.357
dc.titleФормирование микрорельефа в медных пленках методом гальванического осаждения
dc.typeText
local.contributor.authorМинобрнауки России
local.contributor.authorматематики и электроники
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Formirovanie-mikrorelefa-v-mednyh-plenkah-metodom-galvanicheskogo-osazhdeniya-vyp-kvalifikac-rabota-po-napravleniu-podgot-Elektronika-i-nanoelektronika-uroven-bakalavriata-83374
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Семенов_Алексей_Сергеевич_Формирование_микрорельефа_медных.pdf1.72 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.