Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Свойства тонких пленок карбида кремния, полученных методом магнетронного распыления |
| Authors: | Пронюшкина Л. К. Щербак А.В. |
| Keywords: | газофазная эпитаксия карбид кремния комбинационное рассеяние света метод магнетронного распыления правила отбора типов молекулы сублимационная эпитаксия тонкие пленки карбида кремния |
| Issue Date: | 2016 |
| Citation: | Пронюшкина, Л. К. Свойства тонких пленок карбида кремния, полученных методом магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по спец. "Физика" / Л. К. Пронюшкина ; рук. работы А. В. Щербак ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Физич. фак-т, Каф. радиофизика, полупроводник. микро-. - Самара, 2016. - on-line |
| Abstract: | Работа состоит из введения, четырех глав, заключения и списка использованных источников. Она содержит 46 страниц основного текста, 23 рисунка, 3 таблицы и список литературы из 18 наименований. Целью работы является определение возможности исследование стр |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51758 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Пронюшкина_Людмила_Константиновна_Свойства_тонких_пленок_карбида.pdf | 1.83 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.