1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПронюшкина Л. К.
dc.contributor.authorЩербак А.В.
dc.coverage.spatialтонкие пленки карбида кремния
dc.coverage.spatialправила отбора типов молекулы
dc.coverage.spatialкарбид кремния
dc.coverage.spatialкомбинационное рассеяние света
dc.coverage.spatialгазофазная эпитаксия
dc.coverage.spatialсублимационная эпитаксия
dc.coverage.spatialметод магнетронного распыления
dc.creatorПронюшкина Л. К.
dc.date2016
dc.date.accessioned2025-11-27T12:15:52Z-
dc.date.available2025-11-27T12:15:52Z-
dc.date.issued2016
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20161117112810
dc.identifier.citationПронюшкина, Л. К. Свойства тонких пленок карбида кремния, полученных методом магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по спец. "Физика" / Л. К. Пронюшкина ; рук. работы А. В. Щербак ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Физич. фак-т, Каф. радиофизика, полупроводник. микро-. - Самара, 2016. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51758-
dc.description.abstractРабота состоит из введения, четырех глав, заключения и списка использованных источников. Она содержит 46 страниц основного текста, 23 рисунка, 3 таблицы и список литературы из 18 наименований. Целью работы является определение возможности исследование стр
dc.subjectгазофазная эпитаксия
dc.subjectкарбид кремния
dc.subjectкомбинационное рассеяние света
dc.subjectметод магнетронного распыления
dc.subjectправила отбора типов молекулы
dc.subjectсублимационная эпитаксия
dc.subjectтонкие пленки карбида кремния
dc.subject.rugasnti55.22
dc.subject.udc621.793.7:621.385.64
dc.titleСвойства тонких пленок карбида кремния, полученных методом магнетронного распыления
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VKR/Svoistva-tonkih-plenok-karbida-kremniya-poluchennyh-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Fizika-60309
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Пронюшкина_Людмила_Константиновна_Свойства_тонких_пленок_карбида.pdf1.83 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.