Samara University Repository
Welcome to the Samara University repository!
This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.
The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.
Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.
Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).
Use the archive for study, research, and professional development!
| Title: | Электрофизические свойства структур «карбид кремния на кремнии» и «карбид кремния на поликоре» на сверхвысоких частотах |
| Authors: | Доброва М. В. Щербак А. В. |
| Keywords: | SiC/Si структуры волноводы заполнение сечения волновода карбид кремния магнетронное распыление пленочные структуры полупроводники сверхвысокие частоты электрофизические параметры эндотаксия |
| Issue Date: | 2019 |
| Citation: | Доброва, М. В. Электрофизические свойства структур «карбид кремния на кремнии» и «карбид кремния на поликоре» на сверхвысоких частотах : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 "Физика" (уровень бакалавриата) / М. В. Доброва ; рук. работы А. В. Щербак ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Физ. фак-т, Каф. физики тверд. тела и неравновес. систем. - Самара, 2019. - on-line |
| Abstract: | Объектом исследования является структуры карбид кремния на кремнии и карбид кремния на поликоре, получаемых методом эндотаксии и ВЧ магнетронного распыления. Предметом исследования являются электрофизические параметры исследуемых структур. Цель данной работы: экспериментально определить удельное сопротивление тонких пленок карбида кремния на монокристаллических (кремний, сапфир) и поликристаллических (поликор) подложках, полученные с помощью волновода частично перекрытого образцом. В первой главе рассмотрены свойства и некоторые методы получения тонкопленочных структур карбида кремния. Вторая глава посвящена методам исследования электрофизических параметров полупроводниковых материалов. В третьей главе представлены результаты исследования структур карбид кремния на кремнии и поликоре. Результаты данной работы могут быть использованы в области разработки полупроводниковых микроэлектронных приборов для экстремальной электроники и аэрокосмического приборостроения. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51712 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Доброва_Майя_Викторовна_Электрофизические_свойства_структур_«карбид.pdf | 1.25 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.