Title: Физико-химические процессы при порообразовании в кремнии
Authors: Рязанцева И. С.
Латухина Н. В.
Пузырная Г. В.
Keywords: анодное травление
коэффициент отражения
физико-химические процессы
пористый кремний
пористость
электрохимическое травление
Issue Date: 2019
Citation: Рязанцева, И. С. Физико-химические процессы при порообразовании в кремнии : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 "Физика" (уровень бакалавриата) / И. С. Рязанцева ; рук. работы Н. В. Латухина ; конс. Г. В. Пузырная ; конс. Г. А. Рогожина ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Физ. фак-т, Каф. физики твер. - Самара, 2019. - on-line
Abstract: Объектом исследования данной дипломной работы являются физико-химические процессы при порообразовании в кремнии. Цель работы состоит в определении зависимости свойств пористого слоя от характера физико-химических процессов, проходящих во время образования пористого слоя при различных условиях.Во время выполнения работы были изготовлены пористые структуры нескольких типов, исследованы их структура и свойства. Результаты данной работы можно использовать для разработки методики изготовления пористого кремния с контролируемыми параметрами.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51701
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.