Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorРязанцева И. С.
dc.contributor.authorЛатухина Н. В.
dc.contributor.authorПузырная Г. В.
dc.coverage.spatialкоэффициент отражения
dc.coverage.spatialэлектрохимическое травление
dc.coverage.spatialанодное травление
dc.coverage.spatialпористый кремний
dc.coverage.spatialпористость
dc.coverage.spatialфизико-химические процессы
dc.creatorРязанцева И. С.
dc.date2019
dc.date.accessioned2025-11-27T12:31:31Z-
dc.date.available2025-11-27T12:31:31Z-
dc.date.issued2019
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20191218150430
dc.identifier.citationРязанцева, И. С. Физико-химические процессы при порообразовании в кремнии : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 "Физика" (уровень бакалавриата) / И. С. Рязанцева ; рук. работы Н. В. Латухина ; конс. Г. В. Пузырная ; конс. Г. А. Рогожина ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Физ. фак-т, Каф. физики твер. - Самара, 2019. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51701-
dc.description.abstractОбъектом исследования данной дипломной работы являются физико-химические процессы при порообразовании в кремнии. Цель работы состоит в определении зависимости свойств пористого слоя от характера физико-химических процессов, проходящих во время образования пористого слоя при различных условиях.Во время выполнения работы были изготовлены пористые структуры нескольких типов, исследованы их структура и свойства. Результаты данной работы можно использовать для разработки методики изготовления пористого кремния с контролируемыми параметрами.
dc.subjectанодное травление
dc.subjectкоэффициент отражения
dc.subjectфизико-химические процессы
dc.subjectпористый кремний
dc.subjectпористость
dc.subjectэлектрохимическое травление
dc.subject.rugasnti29.01
dc.subject.udc538.9
dc.titleФизико-химические процессы при порообразовании в кремнии
dc.typeText
local.contributor.authorЕстественнонаучный институт
local.contributor.authorРогожина .Г. А.
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorМинистерство образования и науки России
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Fizikohimicheskie-processy-pri-poroobrazovanii-v-kremnii-vyp-kvalifikac-rabota-po-napravleniu-podgot-030302-Fizika-uroven-bakalavriata-82710
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.