Экспериментальное исследование характеристик тонких пленок алюминия

Бабкин Е. Н.; Паранин В. Д.; Саноян А. Г.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Title:	Экспериментальное исследование характеристик тонких пленок алюминия
Authors:	Бабкин Е. Н. Паранин В. Д. Саноян А. Г.
Keywords:	магнетронное напыление спектральные характеристики тонкие пленки алюминия электронная микроскопия
Issue Date:	2019
Citation:	Бабкин, Е. Н. Экспериментальное исследование характеристик тонких пленок алюминия : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Е. Н. Бабкин ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак. - Самаpа, 2019. - on-line
Abstract:	В работе рассматриваются технологии напыления тонких пленок оптических покрытий, спектральные характеристики и методы их получения и анализа. Цель работы – исследование характеристик тонких пленок алюминия, полученных методом магнетронного напыления. Разработана технология магнетронного напыления тонких пленок алюминия на вакуумной установке ЭТНА-100-МТ. С помощью интерферометра Microscope WLI определены толщины изготовленных пленок алюминия, равные 11; 19 нм. С использованием электронного микроскопа Carl Zeiss SUPRA 25-30-85 исследована сплошность и целостность пленок. Измерены спектральные характеристики пропускания и отражения на спектрофотометре Shimadzu UV-2450 в диапазоне 400 – 750 нм. Измерено сопротивление образцов размером 76х25 мм, равное 349 Ом, 356 Ом для толщины 11 нм; 117 Ом, 114,9 Ом для толщины 19 нм.
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51607
Appears in Collections:	Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:

File	Size	Format
Бабкин_Евгений_Николаевич_Экспериментальное_исследование_характеристик_тонких.pdf	2.44 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy

Show full item record