1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБабкин Е. Н.
dc.contributor.authorПаранин В. Д.
dc.contributor.authorСаноян А. Г.
dc.coverage.spatialмагнетронное напыление
dc.coverage.spatialэлектронная микроскопия
dc.coverage.spatialтонкие пленки алюминия
dc.coverage.spatialспектральные характеристики
dc.creatorБабкин Е. Н.
dc.date2019
dc.date.accessioned2025-11-27T12:30:57Z-
dc.date.available2025-11-27T12:30:57Z-
dc.date.issued2019
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190808103655
dc.identifier.citationБабкин, Е. Н. Экспериментальное исследование характеристик тонких пленок алюминия : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Е. Н. Бабкин ; рук. работы В. Д. Паранин ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак. - Самаpа, 2019. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51607-
dc.description.abstractВ работе рассматриваются технологии напыления тонких пленок оптических покрытий, спектральные характеристики и методы их получения и анализа. Цель работы – исследование характеристик тонких пленок алюминия, полученных методом магнетронного напыления. Разработана технология магнетронного напыления тонких пленок алюминия на вакуумной установке ЭТНА-100-МТ. С помощью интерферометра Microscope WLI определены толщины изготовленных пленок алюминия, равные 11; 19 нм. С использованием электронного микроскопа Carl Zeiss SUPRA 25-30-85 исследована сплошность и целостность пленок. Измерены спектральные характеристики пропускания и отражения на спектрофотометре Shimadzu UV-2450 в диапазоне 400 – 750 нм. Измерено сопротивление образцов размером 76х25 мм, равное 349 Ом, 356 Ом для толщины 11 нм; 117 Ом, 114,9 Ом для толщины 19 нм.
dc.subjectспектральные характеристики
dc.subjectмагнетронное напыление
dc.subjectэлектронная микроскопия
dc.subjectтонкие пленки алюминия
dc.subject.rugasnti34.65
dc.subject.udc621.78
dc.titleЭкспериментальное исследование характеристик тонких пленок алюминия
dc.typeText
local.contributor.authorматематики и электроники
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorМинобрнауки России
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Eksperimentalnoe-issledovanie-harakteristik-tonkih-plenok-aluminiya-vyp-kvalifikac-rabota-po-napravleniu-podgot-Elektronika-i-nanoelektronika-uroven-bakalavriata-83337
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Бабкин_Евгений_Николаевич_Экспериментальное_исследование_характеристик_тонких.pdf2.44 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.