Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Исследование технологии получения диэлектрических пленок с помощью реактивного магнетронного распыления |
| Authors: | Федичкин А. П. Харитонов С. И. Саноян А. Г. |
| Keywords: | коэффициент поглощения Lift-Off процессы реактивное магнетронное распыление показатель преломления |
| Issue Date: | 2019 |
| Citation: | Федичкин, А. П. Исследование технологии получения диэлектрических пленок с помощью реактивного магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. П. Федичкин ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники,. - Самаpа, 2019. - on-line |
| Abstract: | В данной работе рассматриваются вопросы, связанные с методами реактивного магнетронного напыления.Цель работы – отработать технологию получения пленок Si3N4, Al2O3, TiO2 методом реактивного магнетронного распыления на установке ЭТНА-100МТ.Рассмотрены достоинства и недостатки метода напыления диэлектрических покрытий методом реактивного магнетронного распыления. Исследованы влияния технологических параметров реактивного магнетронного распыления на качество диэлектрического покрытия. Был получен и исследован ряд диэлектрических покрытий, состоящий из соединений: Al2O3, Si3N4, TiO2. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51578 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Федичкин_Александр_Павлович_Исследование_технологии_получения_диэлектрических.pdf | 2.89 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.