1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorФедичкин А. П.
dc.contributor.authorХаритонов С. И.
dc.contributor.authorСаноян А. Г.
dc.coverage.spatialLift-Off процессы
dc.coverage.spatialкоэффициент поглощения
dc.coverage.spatialреактивное магнетронное распыление
dc.coverage.spatialпоказатель преломления
dc.creatorФедичкин А. П.
dc.date2019
dc.date.accessioned2025-11-27T12:30:04Z-
dc.date.available2025-11-27T12:30:04Z-
dc.date.issued2019
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190808103833
dc.identifier.citationФедичкин, А. П. Исследование технологии получения диэлектрических пленок с помощью реактивного магнетронного распыления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. П. Федичкин ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники,. - Самаpа, 2019. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51578-
dc.description.abstractВ данной работе рассматриваются вопросы, связанные с методами реактивного магнетронного напыления.Цель работы – отработать технологию получения пленок Si3N4, Al2O3, TiO2 методом реактивного магнетронного распыления на установке ЭТНА-100МТ.Рассмотрены достоинства и недостатки метода напыления диэлектрических покрытий методом реактивного магнетронного распыления. Исследованы влияния технологических параметров реактивного магнетронного распыления на качество диэлектрического покрытия. Был получен и исследован ряд диэлектрических покрытий, состоящий из соединений: Al2O3, Si3N4, TiO2.
dc.subjectкоэффициент поглощения
dc.subjectLift-Off процессы
dc.subjectреактивное магнетронное распыление
dc.subjectпоказатель преломления
dc.subject.rugasnti34.65
dc.subject.udc621.78
dc.titleИсследование технологии получения диэлектрических пленок с помощью реактивного магнетронного распыления
dc.typeText
local.contributor.authorматематики и электроники
local.contributor.authorМинобрнауки России
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Issledovanie-tehnologii-polucheniya-dielektricheskih-plenok-s-pomoshu-reaktivnogo-magnetronnogo-raspyleniya-vyp-kvalifikac-rabota-po-napravleniu-podgot-Elektronika-i-nanoelektronika-uroven-bakalavriata-83336
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Федичкин_Александр_Павлович_Исследование_технологии_получения_диэлектрических.pdf2.89 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.