Samara University Repository

1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
2. 05. Выпускные квалификационные работы
3. Выпускные квалификационные работы

Title:	Электрофизические и оптические свойства тонких пленок полупроводникового карбида кремния на поликристаллических и монокристаллических подложках, полученных мето
Authors:	Голубева Д. Ю. Щербак А. В.
Keywords:	газофазная эпитаксия жидкофазная эпитаксия карбид кремния метод магнетронного распыления методы измерения удельного сопротивления монокристаллические подложки оптические параметры полупроводников оптические свойства поликристаллические подложки полупроводниковый карбид кремния рентгенофазовый анализ спектральный анализ способы получения карбида кремния сублимационная эпитаксия электрофизические свойства эндотаксия
Issue Date:	2017
Citation:	Голубева, Д. Ю. Электрофизические и оптические свойства тонких пленок полупроводникового карбида кремния на поликристаллических и монокристаллических подложках, полученных методом магнетронного распыления : на правах рукоп.: магистер. дис. / Голубева Диана Юрьевна ; рук. работы А. В. Щербак ; Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т). - Самара, 2017. - on-line
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/49054
Appears in Collections:	Выпускные квалификационные работы

Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.