1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГолубева Д. Ю.
dc.contributor.authorЩербак А. В.
dc.coverage.spatialрентгенофазовый анализ
dc.coverage.spatialжидкофазная эпитаксия
dc.coverage.spatialметод магнетронного распыления
dc.coverage.spatialметоды измерения удельного сопротивления
dc.coverage.spatialмонокристаллические подложки
dc.coverage.spatialоптические параметры полупроводников
dc.coverage.spatialоптические свойства
dc.coverage.spatialкарбид кремния
dc.coverage.spatialэндотаксия
dc.coverage.spatialэлектрофизические свойства
dc.coverage.spatialспектральный анализ
dc.coverage.spatialспособы получения карбида кремния
dc.coverage.spatialгазофазная эпитаксия
dc.coverage.spatialполикристаллические подложки
dc.coverage.spatialполупроводниковый карбид кремния
dc.coverage.spatialсублимационная эпитаксия
dc.creatorГолубева Д. Ю.
dc.date2017
dc.date.accessioned2025-11-27T12:35:48Z-
dc.date.available2025-11-27T12:35:48Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190419163302
dc.identifier.citationГолубева, Д. Ю. Электрофизические и оптические свойства тонких пленок полупроводникового карбида кремния на поликристаллических и монокристаллических подложках, полученных методом магнетронного распыления : на правах рукоп.: магистер. дис. / Голубева Диана Юрьевна ; рук. работы А. В. Щербак ; Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т). - Самара, 2017. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/49054-
dc.subjectметод магнетронного распыления
dc.subjectполупроводниковый карбид кремния
dc.subjectрентгенофазовый анализ
dc.subjectспектральный анализ
dc.subjectспособы получения карбида кремния
dc.subjectсублимационная эпитаксия
dc.subjectэлектрофизические свойства
dc.subjectэндотаксия
dc.subjectгазофазная эпитаксия
dc.subjectжидкофазная эпитаксия
dc.subjectкарбид кремния
dc.subjectметоды измерения удельного сопротивления
dc.subjectмонокристаллические подложки
dc.subjectоптические параметры полупроводников
dc.subjectоптические свойства
dc.subjectполикристаллические подложки
dc.subject.rugasnti55.22
dc.subject.udc621.382
dc.subject.udc621.793.7
dc.titleЭлектрофизические и оптические свойства тонких пленок полупроводникового карбида кремния на поликристаллических и монокристаллических подложках, полученных мето
dc.typeText
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Elektrofizicheskie-i-opticheskie-svoistva-tonkih-plenok-poluprovodnikovogo-karbida-kremniya-na-polikristallicheskih-i-monokristallicheskih-podlozhkah-poluche-78522
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Голубева_Диана_Юрьевна_ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ_ОПТИЧЕСКИЕ_СВОЙСТВА.pdf2.14 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.