Title: Разработка конструкции и исследование параметров тонкопленочного конденсатора
Authors: Шунайлов П. П.
Архипов А. В.
Лофицкий И. В.
Keywords: тонкопленочные конденсаторы
технологические процессы
магнетронное напыление
Issue Date: 2018
Citation: Шунайлов, П. П. Разработка конструкции и исследование параметров тонкопленочного конденсатора : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / П. П. Шунайлов ; рук. работы А. В. Архипов; рец. И. В. Лофицкий ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line
Abstract: Объектом исследования является технология создания тонких пленок,предмет исследования - тонкопленочный конденсатор.Цель работы – произвести разработку конструкции и исследованиепараметров тонкопленочного конденсатора.В работе изучены методы нанесения
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48669
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.