Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorШунайлов П. П.
dc.contributor.authorАрхипов А. В.
dc.contributor.authorЛофицкий И. В.
dc.coverage.spatialмагнетронное напыление
dc.coverage.spatialтонкопленочные конденсаторы
dc.coverage.spatialтехнологические процессы
dc.creatorШунайлов П. П.
dc.date2018
dc.date.accessioned2025-11-27T12:30:17Z-
dc.date.available2025-11-27T12:30:17Z-
dc.date.issued2018
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180718143525
dc.identifier.citationШунайлов, П. П. Разработка конструкции и исследование параметров тонкопленочного конденсатора : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / П. П. Шунайлов ; рук. работы А. В. Архипов; рец. И. В. Лофицкий ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48669-
dc.description.abstractОбъектом исследования является технология создания тонких пленок,предмет исследования - тонкопленочный конденсатор.Цель работы – произвести разработку конструкции и исследованиепараметров тонкопленочного конденсатора.В работе изучены методы нанесения
dc.subjectтонкопленочные конденсаторы
dc.subjectтехнологические процессы
dc.subjectмагнетронное напыление
dc.subject.rugasnti47.61
dc.subject.udc621.316.8
dc.titleРазработка конструкции и исследование параметров тонкопленочного конденсатора
dc.typeText
local.contributor.authorматематики и электроники
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Razrabotka-konstrukcii-i-issledovanie-parametrov-tonkoplenochnogo-kondensatora-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-74843
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.