Samara University Repository
Welcome to the Samara University repository!
This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.
The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.
Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.
Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).
Use the archive for study, research, and professional development!
| Title: | Разработка технологии изготовления микроэлектромеханических систем на основе структур кремний-на-изоляторе |
| Authors: | Самсонов О. О. Агафонов А. Н. Пиганов М. Н. |
| Keywords: | гироскопы микроэлектромеханические системы МЭМС технология травление экспонирование |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Самсонов, О. О. Разработка технологии изготовления микроэлектромеханических систем на основе структур кремний-на-изоляторе : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / О. О. Самсонов ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. М. Н. Пиганов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line |
| Abstract: | Объектом исследования является МЭМС гироскоп, выполненный в SOI структуре с размерами: толщина несущего слоя - 400 мкм, толщина оксидного слоя - 10 мкм, толщина слоя поликремния - 12 мкм, разработка технологии изготовления данного устройства, а так же разработка методики исследования МЭМС гироскопа и анализ полученных результатов. Цель работы – разработка технологии и исследование МЭМС гироскопа. В данной работе была рассмотрена МЭМС технология, ее особенности и преимущества, некоторые устройства, которые изготавливаются по этой технологии, в частности, гироскопы. Рассмотрены методы производства МЭМС гироскопа, такие как: литография, экспонирование и травление. Была разработана технология изготовления МЭМС гироскопа, которая включала в себя: RCA обработку, оптическую литографию, экспонирование в ультрафиолетовой лампе, травление с использованием Bosch процесса и процесс освобождения. В результате эксперимента были выявлены нужные параметры данных процессов, получен требуемый образец МЭМС гироскопа, сделаны ег |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48649 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Самсонов_Олег_Олегович_Разработка_технологии_изготовления_микроэлектромеханических.pdf | 3.25 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.