1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСамсонов О. О.
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.
dc.contributor.authorПиганов М. Н.
dc.coverage.spatialМЭМС технология
dc.coverage.spatialмикроэлектромеханические системы
dc.coverage.spatialгироскопы
dc.coverage.spatialтравление
dc.coverage.spatialэкспонирование
dc.creatorСамсонов О. О.
dc.date2018
dc.date.accessioned2025-11-27T12:30:11Z-
dc.date.available2025-11-27T12:30:11Z-
dc.date.issued2018
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180716142743
dc.identifier.citationСамсонов, О. О. Разработка технологии изготовления микроэлектромеханических систем на основе структур кремний-на-изоляторе : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / О. О. Самсонов ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. М. Н. Пиганов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48649-
dc.description.abstractОбъектом исследования является МЭМС гироскоп, выполненный в SOI структуре с размерами: толщина несущего слоя - 400 мкм, толщина оксидного слоя - 10 мкм, толщина слоя поликремния - 12 мкм, разработка технологии изготовления данного устройства, а так же разработка методики исследования МЭМС гироскопа и анализ полученных результатов. Цель работы – разработка технологии и исследование МЭМС гироскопа. В данной работе была рассмотрена МЭМС технология, ее особенности и преимущества, некоторые устройства, которые изготавливаются по этой технологии, в частности, гироскопы. Рассмотрены методы производства МЭМС гироскопа, такие как: литография, экспонирование и травление. Была разработана технология изготовления МЭМС гироскопа, которая включала в себя: RCA обработку, оптическую литографию, экспонирование в ультрафиолетовой лампе, травление с использованием Bosch процесса и процесс освобождения. В результате эксперимента были выявлены нужные параметры данных процессов, получен требуемый образец МЭМС гироскопа, сделаны ег
dc.subjectгироскопы
dc.subjectмикроэлектромеханические системы
dc.subjectМЭМС технология
dc.subjectтравление
dc.subjectэкспонирование
dc.subject.rugasnti47.09
dc.subject.udc621.38
dc.titleРазработка технологии изготовления микроэлектромеханических систем на основе структур кремний-на-изоляторе
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorматематики и электроники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Razrabotka-tehnologii-izgotovleniya-mikroelektromehanicheskih-sistem-na-osnove-struktur-kremniinaizolyatore-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-74749
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Самсонов_Олег_Олегович_Разработка_технологии_изготовления_микроэлектромеханических.pdf3.25 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.